该设备历经2年开发周期,不断优化测试后最终推出的国产首款商用激光浮区炉。采用全国产化零部件,生产周期快且能够及时得到技术支持和持续的升级与维护。
5束激光圆周加热,总加热功率2.2Kw,光斑大小可调, 功率增加与减小可以系统自动控制,实现加热温度3000℃以上。最高压力≥200bar,透明腔内稳定极限气压30bar且流量可控。
界面采用15.6寸触摸屏,CCD相机实时显示熔区画面且非加热状态下也能看清料棒。手机、平板、电脑均可远程操控画面,观察窗可直接观察熔区状态,自带激光防护功能。
激光相较光学浮区炉加热的温度更高,易挥发物料也不影响生长。
※主要特点
1、设计/配件/生产/全国产化——维护升级方便;
2、5束激光设计 ,光斑大小可调;
3、自动功率控制,功率调节更线性;
4、透明腔内30bar耐压上限更高;
5、相机滤镜可切换,观察样品更方便;
6、录像功能,可支持回看、快进、可U盘导出;
7、远程操控方便,无需时刻蹲守;
8、系统可远程升级,支持扩展温度显示与控制功能;
※技术规格
1、型 号:FLR-2200W
2、加热类型:5束激光加热,激光功率2.2kW
3、最高温度:≥3000℃(视材料吸收情况而定)
4、最高压力:≥200bar(配备匹配料棒尺寸的等静压机)
5、控制精度:±0.1%功率
6、生长长度:≥170mm
7、生长直径:≤10mm
8、生长速度:0.01~1000mm/h(精准同步上下提拉)
9、旋转速度:0~±100rpm
10、腔体工作压力:≤25bar
11、腔内气氛:O2/Ar2/N2/混合气体等
12、状态监控:高清CCD实时监控+外挂24寸显示器
13、目视功能:配备石英窗口视窗,可通过观察窗直接观察熔区状态,自动滤光且包含激光防护功能
14、远程操控:PC/手机客户端
15、操控界面:15.6英寸 触摸屏
16、保护机制:超温报警/超压报警/超负荷报警/冷却水报警/激光器超温报警/超量程报警/门锁报警等
17、功率调节:自动/手动
18、录像功能:本地录像存储,支持回看与快进,可U盘导出视频
19、数据存储:当前位置、压力、功率均可存储并支持U盘导出CSV表格数据
20、气体流量:浮子流量计显示并调节大小
21、控制机构:PLC
22、执行机构:高精度伺服电机
23、气氛控制:1路进气,1路真空
24、挥发物收集:设计有挥发物收集盒,减少对系统的影响
25、设备高度:总高不超过2100mm,移动时可减小高度至低于2000mm,方便通过实验室门口
※附加功能包
1、压力自动调节:触摸屏上直接设置腔内压力,自动平衡,无需减压阀手动调压
2、流量自动调节:采用耐50/100bar高压质量流量计,设定流量大小,自动平衡
3、温度自动控制:采用专利双色红外测温模块,实时监控温度,并可以作为控制目标,自动控制温度
※成像效果

※本设备生长的部分单晶样品
