该设备历经2年开发周期,不断优化测试后最终推出的国产首款商用激光浮区炉。采用全国产化零部件,生产周期快且能够及时得到技术支持和持续的升级与维护。
5束激光圆周加热,总加热功率2.2Kw,光斑大小可调, 功率增加与减小可以系统自动控制,实现加热温度3000℃以上。气压高达30bar且流量可控。
界面采用15.6寸触摸屏,CCD相机实时显示熔区画面且非加热状态下也能看清料棒。手机、平板、电脑均可远程操控画面,观察窗可直接观察熔区状态,自带激光防护功能。
激光相较光学浮区炉加热的温度更高,易挥发物料也不影响生长。
※主要特点
设计/配件/生产/全国产化——维护升级方便;
5束激光设计 ,光斑大小可调;
自动功率控制,功率调节更线性;
30bar耐压上限更高;
相机滤镜可切换,观察样品更方便;
录像功能,可支持回看、快进、可U盘导出;
远程操控方便,无需时刻蹲守;
系统可远程升级,支持扩展温度显示与控制功能;
※技术规格
型 号:FLR-2200W
加热类型:5束激光-2.2kw
最高温度:≥3000℃
控制精度:±0.1%功率
生长长度:170mm
生长直径:≤10mm
生长速度:0.1~1000mm/h
旋转速度:0~±300rpm
腔体压力:≤25bar
腔内气氛:O2/Ar2/N2/混合气体等
状态监控:高清CCD实时监控+外挂24寸显示器
远程操控:PC/手机客户端
操控界面:15.6英寸 触摸屏
保护机制:超温报警/超压报警/超负荷报警/冷却水报警/激光器超温报警/超量程报警/门锁报警等
功率调节:自动
录像功能:本地录像存储,支持回看与快进,可U盘导出视频
数据存储:当前位置、压力、功率均可存储并支持U盘导出CSV表格数据
气体流量:浮子流量计显示并调节大小
目视功能:可通过观察窗直接观察熔区状态,自动滤光+激光防护功能
控制机构:PLC
执行机构:高精度伺服电机
气氛控制:1路高压,1路低压
挥发物收集:设计有挥发物收集盒,减少对系统的影响
设备高度:总高不超过2100mm,移动时可减小高度至低于2000mm,方便通过实验室门口
※可升级功能包
压力自动调节:触摸屏上直接设置腔内压力,自动平衡,无需减压阀手动调压
流量自动调节:采用耐50/100bar高压质量流量计,设定流量大小,自动平衡
温度自动控制:采用双色红外测温仪,实时监控温度,并可以作为控制目标,自动控制温度
※成像效果

※本设备生长的部分单晶样品
