河南弗莱尔仪器设备有限公司

高温高压激光浮区炉

  • 高温高压激光浮区炉
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    型号:
    FLR-2200W
    用途:
    在超导、磁性、热电、铁电、半导体、光学及量子材料等关键领域的单晶生长,并可用于部分亚稳定态材料的制备与探索。
    规格:
    3000℃
    特点:
    2.2kw激光功率冗余大,30bar耐压压力高,成像效果极好,可目视熔区直接观察,国产供货快,服务效率高

        该设备历经2年开发周期,不断优化测试后最终推出的国产首款商用激光浮区炉。采用全国产化零部件,生产周期快且能够及时得到技术支持和持续的升级与维护。

        5束激光圆周加热,总加热功率2.2Kw,光斑大小可调, 功率增加与减小可以系统自动控制,实现加热温度3000℃以上。气压高达30bar且流量可控。

       界面采用15.6寸触摸屏,CCD相机实时显示熔区画面且非加热状态下也能看清料棒。手机、平板、电脑均可远程操控画面,观察窗可直接观察熔区状态,自带激光防护功能。

        激光相较光学浮区炉加热的温度更高,易挥发物料也不影响生长。


※主要特点

设计/配件/生产/全国产化——维护升级方便;

5束激光设计 ,光斑大小可调;

自动功率控制,功率调节更线性;

30bar耐压上限更高;

相机滤镜可切换,观察样品更方便;

录像功能,可支持回看、快进、可U盘导出;

远程操控方便,无需时刻蹲守;

系统可远程升级,支持扩展温度显示与控制功能;

※技术规格

型       号:FLR-2200W

加热类型:5束激光-2.2kw

最高温度:≥3000℃

控制精度:±0.1%功率

生长长度:170mm

生长直径:≤10mm

生长速度:0.1~1000mm/h

旋转速度:0~±300rpm

腔体压力:≤25bar

腔内气氛:O2/Ar2/N2/混合气体等

状态监控:高清CCD实时监控+外挂24寸显示器

远程操控PC/手机客户端

操控界面:15.6英寸 触摸屏

保护机制:超温报警/超压报警/超负荷报警/冷却水报警/激光器超温报警/超量程报警/门锁报警等

功率调节:自动

录像功能:本地录像存储,支持回看与快进,可U盘导出视频

数据存储:当前位置、压力、功率均可存储并支持U盘导出CSV表格数据

气体流量:浮子流量计显示并调节大小

目视功能:可通过观察窗直接观察熔区状态,自动滤光+激光防护功能

控制机构:PLC

执行机构:高精度伺服电机

气氛控制:1路高压,1路低压

挥发物收集:设计有挥发物收集盒,减少对系统的影响

设备高度:总高不超过2100mm,移动时可减小高度至低于2000mm,方便通过实验室门口


※可升级功能包

压力自动调节:触摸屏上直接设置腔内压力,自动平衡,无需减压阀手动调压

流量自动调节:采用耐50/100bar高压质量流量计,设定流量大小,自动平衡

温度自动控制:采用双色红外测温仪,实时监控温度,并可以作为控制目标,自动控制温度


※成像效果


  image.png                    成像效果.jpg

  Al₂O₃ 的目视效果(手机拍照,实际效果更佳)                                显示器成像效果



※本设备生长的部分单晶样品


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