CSS近空间升华炉—进阶款

该款冷腔近空间升华设备加热元件采用了短红外波灯管，升温速率快，源与衬底上下独立加热，经典的不锈钢抛光工艺，独具一格的冷却水通道使得壳体温度始终保持安全。

        此款对近空间升华设备除了加热速度快，还采用了10英寸触摸屏集中控制，显示直观，操作简捷等特点，使用者可以对密封腔体抽真空或通气氛以满足测试条件，每个温区均可设置12段温控步骤，可以满足碲化镉材料绝大多数升华实验等。

主要特点：

1. 系统可预存100条工艺曲线，每条设置12个控温段落，升温降温均可设置程序控制，控温精度±1℃，具有自动连续PID调节、超温报警、断偶指示等功能。

2. 10英寸触摸屏内可设置所有参数，包括流量计的大小，温度工艺曲线，设定曲线和实时曲线的显示和记录。

3. 通过使用配套的不同石墨坩埚和石墨片组合，可以实现一次升华和二次升华工艺（原料先升华在薄石墨片上，然后石墨片作为源再次做工艺）。

4. 系统可实现温度、气体、工艺气压、与时间的全自动协调控制，工艺结束后，自动降温、关真空泵、关气体。一个工艺可实现在不同温度下两次升华。

5.源与衬底的温差在400℃间距4mm时可以达到70℃，600℃的时候可以达到100℃的温差。可以更大范围的控制温差来调节工艺。

6.常规设备的样片尺寸是4英寸，可以定制腔体大小。