该设备为我司研发用于薄膜或衬底材料连续生长或热处理专用设备，该设备将收放卷机构全部设计到真空腔室内，确保系统在真空条件下或气氛条件下完全密封，适用于连续工艺要求。该设备设计有张力计，通过实时自动调节收卷轴的速度来恒定薄膜的线速度，通过实时自动调节放卷轴的电磁离合器来恒定张力大小。收放卷电机均采用精密伺服电机驱动，通过系统程序实现全自动恒张力恒线速的控制。通过触摸屏仅需设定一个铜箔（样品）的厚度和直线速度即可。
技术特点：
◆10寸触摸屏工控机控制系统，对炉温、进退料、气体流量、闸门等动作进行自动控制；
◆设备两端设计有观察窗，方便直观观察样品工作状态；
◆工艺管路采用进口阀门管件组成-气密性好、耐腐蚀、无污染（管路均采用EP级电抛光管），流量控制采用优质质量流量计（MFC）控制；
◆具有断电报警、超温超压报警等多种安全保护功能；
◆高质量的加热炉体，确保恒温区的高稳定性及长寿命；
◆进出料部件由单独的电机分别调速，同时具有收丝牵伸功能；
主要技术指标：
最高温度： 1200℃
使用温度： ≤1100℃
炉管直径： Φ100mm
炉膛材料： 高纯氧化铝纤维
热电偶类型： K型热热偶（五个点) 。
控温精度： ±1℃，
工艺曲线： 30段可编程控温，PID温度控制程序
温区长度： 五段控温（300+300+300+300+300mm）
加热元件： 合金加热丝
供电电源： 380V，12kw
外形尺寸： 3000*600*1050mm（长宽高）
气路控制系统：
气体流量控制器采用质量流量控制器，该控制方式具有控制精度高，稳定好，气体适应性强的特点。可以很大程度上提高控制精度，提高设备的重复性和稳定性。
连接头类型：双卡套不锈钢接头。
气体种类: 1路.
流量计品牌: SEVEN STAR
标准量程（N2)： N2: 200（具体量程需最终确认）
准确度： ±1.5%
线性： ±0.5～1.5%
重复精度： ±0.2%
响应时间： 气特性1～4 Sec，电特性10 Sec
工作压差范围： 0.1～0.5 MPa
最大压力： 3MPa
接口： Φ6,1/4''
显示： 4位数字显示
工作环境温度: 5～45℃
压力真空表： －0.1～0.15 MPa
3、真空系统
该CVD系统配置优质机械泵。冷态状态真空度可达10-1pa，可以在很短的时间内使系统达到要求的真空范围，保证了产品质量。密封元件则采用优质硅橡胶密封材料密封。减少了因密封元件老化而产生的气密泄漏。 维持炉膛在升温的过程中有一个稳定的气氛环境。
技术参数：
工作电电压：220V±10% 50~60HZ
功率： 370瓦
抽气速率： 10m³ /h
极限真空： 4×10-2Pa
实验真空度：1.0×10-1Pa
容油量： 1.1L
进气口口径：KF25
排气口口径：KF25
转速： 1450rpm
噪音： 50dB