该设备专为实验室已有普通管式炉的用户开发而成，仅需要用户提供一下管子高度和直径即可改造。底部配备可移动炉架，方便移动和摆放位置。等离子体发生器的电源功率有100、200、300、500、1000W等功率可选，射频功率自动匹配，仅需一键操作即可启辉。
产品参数：
射频电源功率 | ||
1 | 信号频率 | 13.56 MHz±0.005% |
2 | 功率输出范围 | 5W-1000W可选 |
3 | 功率稳定度 | ±0.1% |
4 | 整机效率 | >=70% |
5 | 功率因数 | >=90% |
6 | 冷却方式 | 强制风冷 |
真空部分 | ||
1 | 功率 | 300W |
2 | 抽气速率 | 2Ls |
3 | 极限真空 | 4X10-2Pa |
气路系统 | ||
1 | 3路质量流量计可选 | |
2 | 准确度：±1.5% | |
3 | 重复精度：±0.2% | |
4 | 工作压差范围：0.1～0.5 MPa | |