该设备是在简易型近空间升华炉的基础上改进而来，经过与用户深度合作与测试，历经三次大范围优化，使得该第三代设备温区更长，管径更大，温场对称性更好，散热更快。源坩埚和衬底总成放置在移动托架上，非常方便取放。
升华距离可通过添加石英垫片随意调整高度，上下温差≥30℃。高配置型号几乎可以实现全工艺的一键操作，自动升温控制、自动调整流量、自动调整工艺压力，工艺全程可监控。我公司可提供基础工艺指导！
1. 炉膛开门结构分为前后两个独立单元，上下两排灯管分别独立控温，加热结束后炉膛均可通过按钮控制或自动分开成两半，管子暴露在室温环境下，底部两个风扇强制风冷对其散热。
2. 主炉体下方分为两个区域，分别为电器控制部分和真空部分。电器控制部分内有温控电路和机械动作控制器等。真空部分包含一台直联旋片式机械真空泵、数显真空计和正压保护电路。
3. 可选配真空自动平衡功能，设定数值后，腔体内的真空度会保持恒定。
4. 可选配质量流量计控制，进气大小和进气调节均可自动控制。
用户测试膜厚：
主要用户：
龙焱能源科技（杭州）有限公司、河北工业大学、苏州大学、四川大学
技术参数：
序号 | 加热炉部分 | ||
1 | 炉膛模式 | 前后移动开启式炉膛 | |
2 | 显示模式 | 7英寸触摸屏 | |
3 | 加热元件 | 短红外波灯管，上下水平面独立加热 | |
4 | 工作温度 | ≤800℃ | |
5 | 升温速率 | 10℃/s | |
6 | 样品大小 | 3英寸 | |
7 | 温区长度 | 300mm（恒温区100*100mm） | |
8 | 温度均匀性 | ≤±2℃ | |
9 | 炉管规格 | Φ150*700mm | |
10 | 控温精度 | ±1℃ | |
11 | 密封方式 | 快速法兰密封 | |
12 | 仪表补偿 | 室温自动补偿 | |
13 | 温度曲线 | 12段"时间—温度曲线"可设，预存100条工艺曲线 | |
14 | 外壳温度 | ≤50℃ | |
15 | 超温报警 | 有 | |
16 | 过流保护 | 有 | |
17 | 断偶提示 | 有 | |
18 | 测温元件 | K型铠装热电偶 | |
19 | 炉膛材料 | 氧化铝纤维 | |
20 | 外形尺寸 | 1500*800*1300MM | |
21 | 整机功率 | 20kw； | |
22 | 电源参数 | 380V 50Hz | |
真空与气氛 | |||
1 | 抽真空能力 | 大气到≤5Pa小于3min | |
2 | 气压范围 | 10-3Pa～105Pa，机械泵极限≤5Pa | |
3 | 泄漏率 | ≤5-4（Pa*m3/s） | |
4 | 真空计范围 | 大气到10-4Pa，最大分辨率0.01Pa | |
气路系统 | |||
1 | 3路质量流量计混合进气。 | ||
2 | 超压保护（≥1atm），根据设定压力值自动排气 | ||
其它功能 | |||
1 | 温度数据存储 | 可存储大于3个月的数据 | |
2 | 数据导出 | U盘导出excel或csv格式 | |
3 | 工艺曲线 | 触摸屏可显示设定曲线预览 | |