该产品主要适用于近空间升华法（CSS)制备太阳能电池薄膜，例如CdTe、CdS、Sb2S3、硒硫化锑（Sb2(S,Se)3）薄膜。亦可与我司多台标准款CSS设备配套，单独作为一台基片快速退火炉。结构上采用双管结构，外管直径为110mm，一端封闭，内管直径为90mm，处理3英寸样品。工艺气氛从外管通入，内管流出，使得气氛更充分地与样品接触。通过炉膛左右移动实现快速升降温。
结构特点：
1. 炉膛内采用上下两层加热结构，分别负责衬底和源的加热。加热元件为双丝卤钨红外灯管。
2. 炉膛加热到用户设定的时间后自动移开，实现快速降温。
3. 实验完成后可将放料托架打开，将石英外管移动到左端，露出样品可方便取放。
4. 7英寸触摸屏操作，设定曲线实时显示。
5. 本方案采用两块石墨板对样品衬底和源进行分别均热，上下层热电偶探头分别插入石墨板内进行控温，使得两部分的温度均匀性分别达到3℃以内。
主要用户：
四川大学、苏州大学、龙焱能源科技（杭州）有限公司
技术指标：
项目 | 参数 |
真空 | 极限真空度≤10-3Pa(需配分子泵机组） |
系统抽真空能力（大气到10-2Pa）≤5min | |
真空获取 | 采用分子泵机组真空系统达到≤10-3Pa， 或2L直联旋片式机械泵达到≤10Pa |
真空计 | 皮拉尼高精度真空计（最低显示1×10-3Pa） |
加热方式 | 灯管红外加热 |
最高温度 | 800℃ |
升温速率 | 10℃/s |
降温速率 | 1、可控降温（软件自动控制）；2、自然冷却（移走加热炉膛） |
温控精度 | ≤±1℃ |
温控方式 | 分区加热，分区控温。如图所示，衬底加热与源加热分离，独立控温。石墨块内有测温点，可监控基板温度。平台三个部分可独立移动。基板（实验样品）尺寸：3inch×3inch。 |
示意图 |
1:Halogen tungsten lamp; 2:Quartz tube; 3:Upper graphite piece; 4:Below graphite piece; 5:Substrate; 6:CdS powder; 7:Thermocouple; 8:Sustain pole |
温控系统 | 可实现精确自动控温，12段升降温程序，预存100条以上曲线 |
测温方式 | K型热电偶 |
控温点 | 2个（上下石墨匀热板） |
恒温区 | 100mm（处理1片3inch×3inch基板） |
恒温区炉温均匀性 | ±3℃ |
温度自动补偿功能 | 温控仪增加环境温度自动补偿功能 |
工艺气氛 | O2,N2，干燥空气，3路供气（可实现气氛不同比例混合） |
气体控制 | O2：0~500sccm 精度：±1.0%F.S. N2：0~500sccm 精度：±1.0%F.S. 干燥空气：0~1000sccm 精度：±1.0%F.S. |
冷却循环水 | 连接法兰（8mm宝塔接头） |
样品冷却 | 炉膛自动移开，强制风冷 |
额定功率 | 220V,15kw |
外形尺寸 | 长920×深500×高560 |
