该型号为全自动真空度平衡系统，控制数学模型采用先进PID自学习模糊控制，该型设备通过控制真空泵无极调速可以将真空度精准地稳定在±1Pa的精度。即使进气量有变化或者没有进气的状态下也能稳定控制。
详细参数：
测量范围 | 32KPa～1Pa | 760～0.1Torr |
测量精度 | 1Pa | 0.1Torr |
控制范围 | 31.99KPa～1Pa | 750Torr～0.1Torr |
控制精度 | ±1Pa | ±0.1Torr |
真空泵抽速 | 8m³/h | |
真空计 | 皮拉尼真空计 | |
准确度（氮气） | 5×103～3.2×104Pa读数的±50% 1～5.0×103Pa读数的±30% 重复性：1～5×103Pa读数的5% | |
功率 | 0.4Kw/380V | |