河南弗莱尔热处理设备有限公司

等离子清洗机(13.56Mhz)

  • 等离子清洗机(13.56Mhz)
  • 等离子清洗机(13.56Mhz)

    型号:
    PT-2ST
    用途:
    光学镜头活化,硅晶片去胶蚀刻,X-ray镜片|UV/IR镜片活化, 煤的灰化处理,玻璃爬片侵润性增强, 纳米级达因值增强
    规格:
    频率:13.56Mhz,腔体:不锈钢
    特点:
    设置好参数后,只需一键操作,无需重复设置

功能:

1. 对金属、玻璃、硅片、陶瓷、塑料、聚合物表面的有机污染物 (如石蜡、油污、脱膜剂、蛋白等)进行超清洗。

2. 改变某些材料表面的性能。

3. 使玻璃、塑料、陶瓷等材料表面活化,加强这些材料的粘附性、相容性和浸润性。

4. 清除金属材料表面的氧化层。

优点:

1. 对各种几何形状、表面粗糙程度各异的金属、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面进行超清洗和改性。 

2. 绿色环保、不使用化学溶剂、对样品和环境无二次污染。

3. 在常温条件下进行超清洗,对样品非破坏性处理。

应用领域:

1. 光学器件、电子元件、半导体元件、激光器件、镀膜基片、终端安装等的超清洗。

2. 清洗光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片。

3. 移除光学元件、半导体元件等表面的光阻物质,去除金属材料表面的氧化物。

4. 清洗半导体元件、印刷线路板、ATR元件、人工晶体、天然晶体和宝石。

5. 清洗生物芯片、微流控芯片、沉积凝胶的基片。

6. 高分子材料表面的修饰。

7. 封装领域中的清洗和改性,增强其粘附性,适用于直接封装及粘和。

8. 改善粘接光学元件、光纤、生物医学材料、宇航材料等所用胶水的粘和力。

9. 涂覆镀膜领域中对玻璃、塑料、陶瓷、高聚合物等材料表面的改性,使其活化,增强表面粘附性、浸润性、相容性,显著提高涂覆镀膜质量。


设备名称等离子清洗机(13.56Mhz)
腔体材质不锈钢
供电电源AC220V
工作电流整机工作电流不大于1.2A(不含真空泵)
射频电源功率0-300W可调(射频匹配一体)
射频频率13.56Mhz(偏移量小于0.2KHz)
频率偏移量小于0.2KHz
特性阻抗50欧姆,自动匹配
真空度1pa-30Pa
气体路数双路气体输入
气体流量10—300ml/min(可调)
过程控制PLC人机界面自动与手动方式
清洗时间1-99999秒钟可调
功率大小10%-100%可调
内腔尺寸2L、5L、10L
外形尺寸560×540×550mm
真空泵2XZ-2(抽速2L/S)
真空室温度≤室温+30°C
冷却方式强制风冷